共鳴器氣體系統(tǒng)

CONCOA激光氣體控制設(shè)計(jì)用于滿足二氧化碳激光的特殊要求,該激光使用了氦氣、氮?dú)夂虲O2的混合氣。發(fā)射激光的原理和所有CO2激光的原理是一樣的。不同的設(shè)計(jì)使用不同的方法激勵(lì)和冷卻共鳴器腔體內(nèi)的混合氣。其它氣體如一氧化碳和氫氣也可以進(jìn)來補(bǔ)充這三種基本混合氣體。

氣體輸送系統(tǒng)的性能和完整性會(huì)影響激光的效率(產(chǎn)生率和效益)。CONCOA零滲透氣體系統(tǒng)可以在氣瓶交換時(shí),通過將止回閥加入CGA密封管和可選的吹掃閥,防止大氣污染。620和621系列自動(dòng)切換系統(tǒng)提供連續(xù)供氣,保持自動(dòng)化材料控制系統(tǒng)的生產(chǎn)率的效益。

CONCOA公司601系列調(diào)壓閥、620和621切換系統(tǒng)是采用計(jì)算機(jī)控制與制表業(yè)的機(jī)器生產(chǎn)的,這種機(jī)器可以保證嚴(yán)格的公差 – 這個(gè)對避免潮濕擴(kuò)散和碳?xì)浠�合物脫氣并進(jìn)入發(fā)射激光的腔體（即共鳴器）非常關(guān)鍵。因堆積的污染引起的過剩光熱吸收會(huì)減少激光功率的輸出和使激光束質(zhì)量變差。脫氣是指材料(如Neoprene調(diào)壓閥膜片)釋放污染的過程,比如將增塑劑釋放進(jìn)入氣流中。因此,CONCOA的激光標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備是用帶不銹鋼膜片的棒材閥體和具備設(shè)計(jì)的泄漏率只有 1 x 10^-8 scc/sec制成的。CONCOA也供應(yīng)潮濕捕捉裝置和2微米過濾器,來滿足要求苛刻的激光產(chǎn)生的要求。下圖描述了零滲透共鳴器氣體供應(yīng)系統(tǒng)的基本構(gòu)成。

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